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MEMS

Micro Electro Mechanical Systems

めむす

半導体製造技術を応用して微小な機械構造と電子回路を1チップに集積した装置。加速度センサー、ジャイロセンサー、圧力センサーなどがスマートフォンやIoTデバイスに組込まれている。

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