MEMS（微小電気機械システム）

Micro Electro Mechanical Systems

めむす

半導体製造技術を応用して、マイクロメートル規模の機械構造と電子回路を1チップに集積した技術。加速度センサ、ジャイロスコープ、圧力センサ、マイクロフォンなどのMEMSデバイスが、組込みシステムやIoTデバイスに広く利用される。

ハードウェア > 入出力デバイスとセンサ・アクチュエータ

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アナログ信号をデジタル値に変換する回路。分解能（ビット数）、サンプリングレート、変換方式（逐次比較型、ΔΣ型等）が主要な特性。センサからのアナログ信号をマイコンで処理するために不可欠な回路である。

回転角度や直線移動量を電気信号に変換するセンサ。インクリメンタル型（相対位置検出）とアブソリュート型（絶対位置検出）がある。モータの回転数制御やロボットの関節角度検出などに使用される。

物体の加速度を検出するセンサ。MEMS（微小電気機械システム）技術により小型化が進んでいる。スマートフォンの姿勢検出、自動車のエアバッグ展開判定、振動モニタリングなどに使用される。1〜3軸の加速度を検出可能。

特定の機能を実現するために、家電製品、自動車、産業機器などの機器に組み込まれたコンピュータシステム。汎用コンピュータと異なり、リアルタイム性、省電力性、小型化、高信頼性などの制約の下で設計される。

定められた時間制約内に処理を完了することが要求されるシステム。ハードリアルタイム（時間制約違反が致命的）とソフトリアルタイム（時間制約違反が許容範囲内）に分類される。組込みシステムの多くがリアルタイム性を要求される。

ハードウェアに組み込まれた制御用ソフトウェア。ROMやフラッシュメモリに格納され、機器の基本的な動作を制御する。ソフトウェアとハードウェアの中間的な存在であり、OTA（Over-the-Air）更新などにより書き換え可能な場合もある。